Adapun tata cara sholat tahiyatul masjid sama seperti melaksanakan sholat sunnah pada umumnya yakni diawali dengan membaca niat.
Berikut bacaan niat shalat tahiyatul masjid:
أُصَلِّى سُنَّةَ التَّحِيَّةَ الْمَسْجِدِ رَكْعَتَيْنِ لله تعالى
Ushallii sunnatat tahiyatal masjidi rak'ataini lillahi ta'aala
Artinya: Saya shalat sunnat tahiyat al-masjid dua rakaat karena Allah Ta’ala.
Keutamaan sholat tahiyatul masjid
Orang yang mendatangi masjid lalu mengerjakan sholat dua rakaat mendapatkan pahala berlipat. Di dalam kitab Sahihain disebutkan bahwa Rasulullah SAW pernah bersabda:
"صَلَاةُ الرَّجُلِ فِي الْجَمَاعَةِ تُضَعَّف عَلَى صِلَاتِهِ فِي بَيْتِهِ وَفِي سُوقِهِ، خَمْسًا وَعِشْرِينَ ضِعْفًا.
Artinya: Shalat seseorang dalam jamaah, pahalanya berkali lipat salat di dalam rumahnya, dan di dalam pasarnya sebanyak dua puluh lima kali lipat".