1. Niat
2. Takbiratul Ihram
3. Membaca Doa Iftitah
4. Membaca Surat Al Fatihah
5. Setelah membaca Surat Al fatihah, pada rakaat pertama dianjurkan membaca Surat Al Baqarah ayat 284-285
6. Ruku dengan membaca doa Subhaana rabbiyal 'azhiimi wabihamdih (3x)
7. I'tidal dengan membaca doa Sami'allahu liman hamidah
8. Sujud dengan membaca doa Subhaana rabbiyal a'la wabihamdihi (3x)
9. Duduk di Antara Dua Sujud dengan membaca doa
10. Sujud kedua
11. Berdiri untuk mengulang rakaat kedua dan ketiga
12. Pada rakaat kedua setelah membaca Surat Al Fatihah dianjurkan membaca Surat Ali Imran 18-19 dan 26-27.
13. Pada rakaat ketiga dianjurkan membaca Surat Al Ikhlas
14. Salam
Setelah melaksanakan sholat tahajud, dilanjutkan dengan membaca dzikir 'Astaghfirullah 'azhiim' sebanyak tiga kali. Kemudian, membaca doa sholat tahajud sebagai berikut:
اَللّٰهُمَّ لَكَ الْحَمْدُ اَنْتَ قَيِّمُ السَّمَوَاتِ وَاْلاَرْضِ وَمَنْ فِيْهِنَّ، وَلَكَ الْحَمْدُ اَنْتَ مَالِكُ السَّمَوَاتِ وَاْلاَرْضِ وَمَنْ فِيْهِنَّ، وَلَكَ الْحَمْدُ اَنْتَ نُوْرُ السَّمَوَاتِ وَاْلاَرْضِ وَمَنْ فِيْهِنَّ، وَلَكَ الْحَمْدُ اَنْتَ الْحَقُّ وَوَعْدُكَ الْحَقُّ وَلِقَاءُكَ حَقٌّ وَقَوْلُكَ حَقٌّ وَالْجَنَّةُ حَقٌّ وَالنَّارُ حَقٌّ وَالنَّبِيُّوْنَ حَقٌّ مُحَمَّدٌ صَلَّى اللهُ عَلَيْهِ وَسَلَّمَ حَقٌّ وَالسَّاعَةُ حَقٌّ اَللّٰهُمَّ لَكَ اَسْلَمْتُ وَبِكَ اَمَنْتُ وَعَلَيْكَ تَوَكَّلْتُ وَاِلَيْكَ اَنَبْتُ وَبِكَ خَاصَمْتُ وَاِلَيْكَ حَاكَمْتُ فَاغْفِرْلِيْ مَاقَدَّمْتُ وَمَا اَخَّرْتُ وَمَا اَسْرَرْتُ وَمَا اَعْلَنْتُ وَمَا اَنْتَ اَعْلَمُ بِهِ مِنِّيْ، اَنْتَ الْمُقَدِّمُ وَاَنْتَ الْمُؤَخِّرُ لاَاِلَهَ اِلاَّ اَنْتَ، وَلاَ حَوْلَ وَلاَ قُوَّةَ اِلاَّ بِاللهِ
Latin: Allahumma lakal hamdu anta qayyimus samawaati wal ardhi wa man fiihinna, walakal hamdu, laka mulku samaawaati wal ardhi wa man fiihinna, walakal hamdu, anta nuurus samaawaati wal ardhi wa man fiihinna, wa lakal hamdu, anta malikus samaawaati wal ardhi, wa lakal hamdu, antal haqqu, wawa’dukal haqqu, waliqaa uka haqqun, waqauluka haqqun, wal jannatu haqqun, wan naaru haqqun, wannabbiyuuna haqqun, wa muhammadun sallaahu ‘alaihi wa sallama haqqun, wassa’atu haqqun.